微机电系统(MEMS)特点分析 微机电系统，英文名称是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的缩写)，其是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。MEMS的特点是：1)微型化：MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。2)以硅为主要材料，机械电器性能... 2023-06-13 微机电系统MEMS文章课设毕设控制类
微机电系统(MEMS)加工及技术基础 微机电系统微机电系统技术统有多种原材料和制造技术，选择条件是系统的应用、市场等等。硅硅是用来制造集成电路的主要原材料。由于在电子工业中已经有许多实用硅制造极小的结构的经验，硅也是微机电系统非常常用的原材料。硅的物质特性也有一定的优点。单晶体的硅遵守胡克定... 2023-06-13 微机电系统加工技术文章基础课微机原理
ATA-2021H功率放大器驱动MEMS传感器即微机电系统 MEMS技术是一个新兴技术领域，主要属于微米技术范畴。MEMS技术的发展已经历了10多年时间，大都基于现有技术，用由大到小的技术途径制作出来的，发展了一批新的集成器件，Aigtek功率放大器驱动微机电系统，大大提高了器件的功能和效率，已显示出了巨大的生命力。MEMS技术的发展有可能会... 2023-06-13 微机电系统放大器文章课设毕设测量类
