天线效应的产生机理及消除方法

导读：随着工艺技术的发展，栅的尺寸越来越小，金属的层数越来越多，发生天线效应的可能性就越大。而天线效应则会对小型技术领域产生非常大的影响，因为泄电所带来的损害很可能波及整个栅极。因此，本文对天线效应的产生机理及消除天线效应的方法做出了讨论。1.天线效应简单介绍天线...

2023-06-13 天线效应产生机理消除方法文章基础课其他