基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计 硅微加速度传感器是。MEMS器件中的一个重要分支，具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点，而且该种传感器在强辐射作用下能正常工作，使其近年来发展迅速。与国外相比，国内对硅微传感器的研究起步较晚，所做的工作主要集中... 2023-06-13 MEMS硅微压阻式加速度传感器文章课设毕设传感器类
