MOCVD技术在光电薄膜中的应用 导读: MOCVD技术在半导体材料和器件及薄膜制备方面取得了巨大的成功。尽管如此,MOCVD仍是一种发展中的半导体超精细加工技术,MOCVD技术的进一步发展将会给微电子技术和光电子技术带来更广阔的前景。一、引言近年来,随着半导体工业的发展以及高速光电信息时代的来临,LPE、VPE... 2023-06-13 MOCVD光电薄膜中的应用文章技术应用光电显示