电容式与热式MEMS传感器的部分差异 设计工程师在开发重型装备的过程中通常需要在不同种类的加速度传感器中做出选择。例如，在起重机，拖拉机，木材切割机以及建筑工程等重型机械中，设计者需要通过使用加速度传感器来测量设备工作时的俯仰和翻滚角。在多数应用中，他们通常会根据传感器的主要特性，比如结构，共振频率、... 2023-06-13 热式MEMS传感器电容式文章基础课其他
