基于MEMS硅微加速度传感器的设计方案 与国外相比，国内对硅微传感器的研究起步较晚，所做的工作主要集中在硅微加速度传感器的加工制 造和理论研究。文中以双端固支式硅微加速度传感器为研究对象，借助Aasys软件对其性能进行仿真分析，从而选出性能优良的结构形式。1 传感器结构及工作原理压阻式加速度传感器是最早开... 2023-06-13 基于MEMS硅微加速度传感器设计方案文章课设毕设传感器类
基于MEMS惯性传感器的加速度测量无线传输系统设计 微电子与微机械（MEMS）技术的发展，使现代传感器设计向微型化、智能化、集成化、微低功耗方向发展。MEMS技术突破了传统传感器设计受质量、体积、功耗等技术瓶颈的束缚，在各测量领域有着非常广泛的应用。而随着无线技术的发展，传感器技术与无线技术结合得越来越紧密，利用无线技术... 2023-06-13 基于MEMS惯性传感器加速度测量无线传输系统设计文章课设毕设传感器类
