基于MEMS硅微加速度传感器的设计方案 与国外相比，国内对硅微传感器的研究起步较晚，所做的工作主要集中在硅微加速度传感器的加工制 造和理论研究。文中以双端固支式硅微加速度传感器为研究对象，借助Aasys软件对其性能进行仿真分析，从而选出性能优良的结构形式。1 传感器结构及工作原理压阻式加速度传感器是最早开... 2023-06-13 基于MEMS硅微加速度传感器设计方案文章课设毕设传感器类
